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介绍气体捕集泵(2)

2015-9-21 15:25:06点击:

     利用低温外表捕集气体的真空泵。

从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的真空泵,    气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上。有以下几种型式。

    1吸附泵

    主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。

    2吸气剂泵

    一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或堆积新鲜薄膜形式存在金属或合金。升华泵即属于这种型式。

    3吸气剂离子泵

以达到抽气的目的有如下几种型式。    使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的外表上。

以实现抽气的一种真空泵。    1蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上。

以实现抽气目的一种真空泵。    2溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上。

     4低温泵